Tilting the Cross-Section

Why tilt

정면 단면만 보면 알 수 없는 것들이 있다. 측벽이 어떻게 기울었는지, 트렌치 바닥이 평평한지, 언더컷이 한쪽으로만 파였는지는 각도를 틀어야 보인다.

실제 SEM 을 쓸 때 제일 먼저 배우는 게 스테이지를 기울이는 것이다. 그걸 못 하면 시뮬레이터가 아니라 그림이다.

The engine

틸트 3D 공유 엔진을 따로 뺐다. sem3d.js. 컴포넌트가 아니라 엔진으로 만든 건 검증 스크립트에서도 같은 걸 써야 해서다.

· 풀 회전 — 임의 각도에서 관찰 · 법선 셰이딩 — 면 방향에 따라 밝기가 달라진다 · 재료 질감 — 금속과 산화막이 다르게 보인다 · auto-fit — 시편이 화면을 벗어나지 않는다

The honest magnification

하루 뒤에 세로 과장을 없앴다. zEx 기본값을 1 로 내렸다. 박막은 얇다. 100nm 막을 실제 비율로 그리면 선 하나로 보인다. 그래서 세로를 늘려 그리고 싶어진다. 잘 보이니까.

그런데 그렇게 배운 학생은 실제 SEM 사진을 보고 당황한다. 얇은 건 얇게 보여주고, 대신 배율로 확대해서 관찰하게 했다. 실제 장비에서 하는 것과 같은 방식이다.

보기 좋게 왜곡한 그림은 나중에 학생이 갚는다.

Proving it

엔진에 구조 불변식을 걸고 골든과 대조했다. 시나리오별로 골든 1장 + 변형 2장, 총 18장을 뽑아 비교 몽타주를 만들었다.

이틀 전에는 렌더와 측정이 서로 맞는지 보는 검사(sem:coherence)도 붙였다. 화면에 그린 각도와 측정값이 다르면 둘 중 하나는 거짓말이다.