JH LIM LAB NOTES
Lab Note 039
SEMICONDUCTOR15 MAR 2026

The Lobby Had Eight Machines. One of Them Worked.

StatusSHIPPED

The storefront

2월 11일에 3D 장비 캐러셀 로비를 만들었다. 여덟 대가 아이소메트릭 SVG 로 늘어서고, 고르면 앞으로 나오고 양옆이 회전해 물러난다. ICP Etcher · PECVD · Thermal CVD · RTA · PEALD · ALE · Descum · CCP Etcher. 그림이었다. 실제로 도는 건 ICP 하나였다.

Why I drew all eight anyway

하나만 있는 로비를 만들 수도 있었다. 그러지 않은 이유가 있다. 장비는 하나씩 배우면 차이가 안 보인다. ALD 와 LPCVD 를 나란히 놓아야 왜 둘 다 존재하는지가 보인다. 증착기 하나만 보여주면 학생은 그게 증착의 전부인 줄 안다.

장비는 하나씩이 아니라 계통으로 이해된다.

그래서 계통을 먼저 그려놓고 안을 채우기로 했다. 빈칸이 보이는 게 빈칸을 감추는 것보다 낫다고 봤다.

One month to fill one slot

두 번째 장비가 실제로 도는 데 한 달이 걸렸다. 3월 14일에 ALD 시뮬레이터가 처음 파일로 생겼다. 다음 날 하루 동안 열두 커밋이 들어갔다. · 원리 3D 시뮬레이터 탭 · 사이클당 GPC 그래프 · 퍼지 효과가 반영된 실제 ALD 타이밍 · 0.3초 최소 인터록 + 사이클별 두께 불안정성 · 펄스·온도가 막 품질에 미치는 영향 그림 한 장을 도는 장비로 바꾸는 데 드는 품이 이만큼이다.

What the gap taught me

여덟 칸을 그려놓고 한 달에 한 칸을 채웠다. 이 속도면 여덟 칸을 다 채우는 데 반년이 넘게 걸린다. 실제로 그 뒤 PVD 스퍼터가 3월 말에 들어왔고, 5월에 다시 썼다. LPCVD 와 열증발은 끝내 별도 모듈이 되지 않았다. 6월 문서에 확장 패키지 개념으로만 남아 있다. 계통을 먼저 그린 판단 자체는 지금도 맞다고 본다. 다만 그려놓은 칸이 곧 약속처럼 보인다는 걸 그때는 몰랐다. 다음에 이런 걸 만들면, 도는 것과 예정인 것을 화면에서 구분해 놓을 생각이다.

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