Starting With a Vacuum Chamber

The first module

진공 시뮬레이터 하나로 시작했다. 반도체 공정에서 가장 먼저 이해해야 하는 게 진공인데, 가장 안 보이는 것도 진공이다.

Then, in sequence

· 웨이퍼 세정 · 증착 · 플라즈마 I / II · 노광

하나씩 연속으로 붙여나갔다.

여기서부터 시작했다.