Four Times Faster Than Real

The trade

RTA 온도 응답 시간을 7배 줄였다가 4배로 되돌렸다. 실제 공정 시간을 그대로 두면 수업 시간에 안 끝난다. 너무 줄이면 램프가 켜지고 온도가 오르는 사이의 지연이 안 느껴진다. 그 지연이 RTA 의 핵심이다. 없애면 그냥 숫자 입력기가 된다.

실제 시간을 줄이되, 줄였다는 걸 학생이 눈치채면 안 된다.

How I found the number

7배는 계산으로 나온 값이 아니다. 수업 한 코마에 맞춰 거꾸로 잡은 것이다. 돌려보니 램프가 켜지는 순간 온도가 따라 올라갔다. RTA 는 램프 출력과 실제 웨이퍼 온도 사이에 시차가 있고, 그 시차 때문에 오버슛이 생기고 학생이 그걸 잡는 걸 배운다. 7배로 줄이니 오버슛이 안 보였다. 4배로 되돌린 건 그 지연이 눈에 보이는 가장 빠른 값이었기 때문이다. 커밋 두 개가 같은 날 연달아 찍혀 있다 — 7배로 줄이고, 4배로 되돌렸다.

The font commits

그 앞뒤로 우스운 커밋이 몇 개 있다. 램프 출력 글자를 50% 줄였다가, 다음 커밋에서 24로 되돌렸다. 온도 프로파일 차트는 1.8배로 키웠는데 안 커져서, SVG 좌표까지 1.8배 해서야 실제로 커졌다. 숫자를 크게 하는 것과 그 숫자가 읽히는 건 다른 문제였다. 학생이 봐야 하는 건 램프 출력 값이 아니라 온도가 따라오는 곡선이다. 곡선이 작으면 값을 아무리 키워도 소용없다.

Also that month

그 달에 139커밋. 3D 장비가 본격적으로 들어왔다. · 3D 마그네트론 스퍼터링 · PVD 증발기를 새 3D E-beam / 열증발기로 교체 · 웨이퍼 전체가 보이도록 카메라 조정 카메라 조정 커밋이 유난히 많다. 3D 로 만들면 무엇을 보여줄지가 다시 문제가 된다. 2D 일 때는 보여줄 것이 화면 전부였는데, 3D 는 어디서 볼지를 정해야 한다.